青海電子級多晶硅崛起的“新勢力”
一線精餾裝置。青海日報記者 宋翠茹攝
企業相關負責人介紹低溫傅立葉變換紅外光譜儀。青海日報記者 宋翠茹攝
一線還原爐車間 。青海日報記者 宋翠茹攝
2022年3月18日,國家電投黃河公司新能源分公司還原分場一線電子級多晶硅生產還原車間,2號還原爐的小“望窗”內,爐火正旺,多晶硅棒正在生成,已見雛形。
透過爐外“望窗”,記者看到了這一現代科技的壯觀景象。生產車間工段長俞朝介紹說:還原爐內溫度一般為1050℃,從投料到硅棒出爐需要125個小時,這個車間每爐產量可達1噸。旁邊1號還原爐,兩名“全副武裝”的工作人員正在清理爐子,為下一爐多晶硅生成和出爐緊張有序地准備著。
“與往年相比,今年一季度的訂單量大幅增長,提振了全年銷售工作的信心。” 國家電投黃河公司新能源分公司營銷總監王鵬說。得益於產品質量與品牌優勢,國家電投黃河公司新能源分公司的訂單量實現逐年上揚,2022年首季度,電子級多晶硅銷量同比大幅增長,8-12英寸硅片應用佔比超過60%,電子級產品高端市場應用份額持續擴大,並與國內多家知名集成電路硅片制造商簽訂了多年框架協議。
創新賦能 成就科技“小巨人”
企業的拳頭產品——電子級多晶硅就是企業堅持創新賦能、攻破“卡脖子”技術難關的碩果。
不久前,國家電投黃河公司新能源分公司“電子級多晶硅成套制備技術的研發及產業化”項目獲得了青海省科學技術進步獎一等獎。在集成電路行業高速發展和實現國產替代的大背景下,持續向好的成績為企業突破壁壘、搶抓機遇的前進步伐增添了不少信心。
從引進國內外設備和先進技術到企業開始自主研發,再到年產值上千萬元,如今這家企業已經成長為細分領域的行業“小巨人”,其生產的電子級多晶硅純度已經達到99.999999999%,經過一系列嚴格的產品測試和客戶驗証后,可以用於極大規模集成電路用12英寸單晶制造,企業用實力書寫了自己的奇跡。
然而,成功絕非偶然。創新、精益求精是國家電投黃河公司新能源分公司14年來穩步成長的內核詮釋。
實現極大規模集成電路用高純電子級多晶硅國產化的歷程有多艱辛,中間的路有多遠,要跨越多少技術關卡,多晶硅企業是如何突破長期被國外壟斷的電子級多晶硅生產核心技術,國家電投黃河公司新能源分公司給出了答案。
“電子級多晶硅是一種高純的硅材料,因其純度要求達到11N以上,因此要比光伏級多晶硅純度至少提高2-3個數量級,兩者之間存在顯著的品質差異。突破電子級多晶硅核心技術,關鍵還是技術創新,優化改進生產技術和質量控制技術,在產品生產制造、裝置穩定運行等各環節的過程控制上做到精益求精,並通過成百上千次的科學實驗,才能生產出合格、適銷對路的電子級多晶硅產品,實現電子級多晶硅國產化的戰略目標。”國家電投黃河公司新能源分公司質量保証部主任李海霞告訴記者。
深耕市場 推動產業化進程
為了佔據市場主動權,企業採取延長產業鏈和打造自主品牌“兩條腿”走路的方式,持續推進企業多元化布局和轉型。
記者了解到,電子級多晶硅產品需要得到下游廠家的認可,而下游用戶看中的是產品質量的穩定性,這對企業來說,本身就有很大挑戰。
李海霞說,企業目前已擁有了副產物四氯化硅高效循環利用技術、三氯氫硅氣體分離提純技術、高純多晶硅制備和質量控制技術等一系列核心自主技術,實現了微電子單晶用多晶硅產品的規模化生產。
數十年的深耕細作,加上先進的管理技術和優質的產品及服務,如今,國家電投黃河公司新能源分公司在行業有著舉足輕重的地位。近3年來,是國內唯一一家批量生產並銷售集成電路用電子級多晶硅的企業,產品質量達到國際先進水平,目前國內市場佔有率達20%。
企業實現高質量發展,自主創新是引領,核心技術是關鍵。自創立以來,國家電投黃河公司新能源分公司始終把科技創新作為發展之本,聚焦產業引領、人才驅動,關注行業技術難題與“卡脖子”技術攻關,推動技術成果產業化進程,用技術創新創造企業效益。
加大投入 引領行業新高度
在國家電投黃河公司新能源分公司的檢測中心——青海芯測科技有限公司,記者和技術員進入作業區之前,需要經過換裝、除塵等程序,通過多道風淋門才能進入不同等級的無塵室。
“事關產品品質,生產高純度多晶硅材料,對環境要求極其苛刻。環境越潔淨,測試出來的電子產品能達到的精密度也就越高。”青海芯測科技有限公司檢測中心主任薛心祿說。
這背后,是國家電投黃河公司高額的投入,特別是先進設備的投入。在這個面積1543平方米的檢測中心,配備了區熔單晶爐(FZ-100),低溫紅外光譜儀,氣相色譜質譜聯用儀,少數載流子壽命測試儀等設備50多台(套),80%為國外先進設備,核心檢測設備屬國內首台,設備總投資達4000多萬元。
薛心祿還表示,依托實驗室信息化建設和青海省新能源材料與儲能技術重點實驗室、集成電路硅材料省級工程研究中心2個省級創新平台,企業開展了自主研發創新,引進消化吸收再創新及產學研合作等多模式創新,匯聚多方創新力量,營造良好創新生態,不斷鞏固和提升自身創新能力。
一分耕耘,一分收獲。該企業已經成功突破電子級多晶硅生產核心技術,徹底打破國外市場壟斷,保障了我國集成電路硅材料產業的戰略安全。累計申請專利41件,其中獲得發明專利授權5件,受理發明專利6件,主持/參編國家、行業及團體標准16部,在國內同行業中處於領先地位。
作為青海制造的參與者,李海霞認為用品質鍛造的品牌,終會得到市場認可。她言辭堅定:“我們要做電子級多晶硅硅材料領域的佼佼者,這個目標從未改變!為此,我們要以技術創新為先,打造高品質產品,讓‘青海制造’從國內走向國際,讓青海的品牌更響亮,讓更多人通過品牌更加了解青海。”
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